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반도체 제조, 장비, 자동화 및 기타 관련 영역에 대한 표준을 정의하고 관리하는 조직은 SEMI.org입니다. 반도체 제조업체 및 장비 제조업체를위한 국제기구입니다.

SEMI에서 정의한 공장 자동화 표준은 일반적으로 SECS / GEM 표준으로 알려져 있으며, 200mm 웨이퍼 처리의 경우 SECS-I (E4), SECS-II (E5), HSMS (E37) 및 GEM (E30)의 4 가지 주요 표준으로 구성됩니다. 표준.

각 표준이 다루는 내용을 이해합시다.

SECS-I (E4) :이 표준은 RS-232 시리얼 통신에 기반한 통신 프로토콜입니다. 이것은 HSMS에 비해 훨씬 느립니다.

SECS-II (E5) :이 표준은 일련의 스트림 및 기능 메시지의 형태로 장비와 공장 호스트간에 정보가 전달되는 방식을 정의합니다.

HSMS (E37) :이 표준은 TCP / IP 기반의 통신 프로토콜을 정의합니다.

GEM (E30) :이 표준은 핵심 SECS-II 메시지를 사용하여 이벤트 보고서, 데이터 수집 및 레시피 관리와 같은 특정 작업을 수행하는 방법을 정의 할뿐만 아니라 호스트와 인터페이스 할 때 장비의 동작을 관리합니다. .

SECS / GEM은 통신 프로토콜이므로 기술, 플랫폼 및 프로그래밍 언어에 독립적입니다. 연결의 호스트 측은 일반적으로 팹에서 제공하는 컴퓨터 시스템에서 실행되고 연결의 장비 측은 장비 제조업체에서 제공하는 컨트롤러 컴퓨터에서 실행됩니다. 이는 공장과 장비 제조업체의 상호 운용성, 유연성 및 플랫폼 독립성을 모두 제공합니다. 팹과 OEM 모두 SECS / GEM 표준을 준수하는 한 통신 호환성에 대해 걱정할 필요없이 소프트웨어 애플리케이션을 개발할 수 있습니다.

SECS / Gem 표준은 일반적으로 단일 연결을 사용하는 호스트 컴퓨터와 장비 간의 통신을 정의하지만 둘 이상의 자동화 시스템에서 단일 장비로의 다중 연결이 가능합니다. SECS에서 정의한 메시지 유형은 부분적으로 비대칭입니다. 일부 메시지 유형은 장 비용으로 만 정의되고 다른 메시지 유형은 호스트 용으로 만 정의되지만 많은 메시지가 양쪽에서 유사한 용도로 사용됩니다.

연결 공유 방법은 새 배포에 권장되지 않습니다. 연결이 장기간 유지되고 장비 또는 호스트가 재부팅 된 경우에만 중단되는 것이 일반적인 관행입니다. SECS 연결은 가볍고 네트워크 대역폭을 많이 사용하지 않습니다. 간단한 데스크톱 컴퓨터에서 여러 SECS 연결을 실행할 수 있습니다.

Downloading recipes from the Recipe Server or host to the equipment

Host application selecting the required recipe on the equipment

Collecting Alarms and events data from the equipment for analysis

Collecting process data such as temperature, pressure, etc. in real time from the equipment

Receive and set equipment configuration parameters