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반도체 제조, 장비, 자동화 및 기타 관련 영역에 대한 표준을 정의하고 관리하는 조직은 SEMI.org입니다. 반도체 제조업체 및 장비 제조업체를위한 국제기구입니다.

SEMI에서 정의한 공장 자동화 표준은 일반적으로 SECS / GEM 표준으로 알려져 있으며, 200mm 웨이퍼 처리의 경우 SECS-I (E4), SECS-II (E5), HSMS (E37) 및 GEM (E30)의 4 가지 주요 표준으로 구성됩니다. 표준.

각 표준이 다루는 내용을 이해합시다.

SECS-I (E4) :이 표준은 RS-232 시리얼 통신에 기반한 통신 프로토콜입니다. 이것은 HSMS에 비해 훨씬 느립니다.

SECS-II (E5) :이 표준은 일련의 스트림 및 기능 메시지의 형태로 장비와 공장 호스트간에 정보가 전달되는 방식을 정의합니다.

HSMS (E37) :이 표준은 TCP / IP 기반의 통신 프로토콜을 정의합니다.

GEM (E30) :이 표준은 핵심 SECS-II 메시지를 사용하여 이벤트 보고서, 데이터 수집 및 레시피 관리와 같은 특정 작업을 수행하는 방법을 정의 할뿐만 아니라 호스트와 인터페이스 할 때 장비의 동작을 관리합니다. .

SECS / GEM은 통신 프로토콜이므로 기술, 플랫폼 및 프로그래밍 언어에 독립적입니다. 연결의 호스트 측은 일반적으로 팹에서 제공하는 컴퓨터 시스템에서 실행되고 연결의 장비 측은 장비 제조업체에서 제공하는 컨트롤러 컴퓨터에서 실행됩니다. 이는 공장과 장비 제조업체의 상호 운용성, 유연성 및 플랫폼 독립성을 모두 제공합니다. 팹과 OEM 모두 SECS / GEM 표준을 준수하는 한 통신 호환성에 대해 걱정할 필요없이 소프트웨어 애플리케이션을 개발할 수 있습니다.

SECS / Gem 표준은 일반적으로 단일 연결을 사용하는 호스트 컴퓨터와 장비 간의 통신을 정의하지만 둘 이상의 자동화 시스템에서 단일 장비로의 다중 연결이 가능합니다. SECS에서 정의한 메시지 유형은 부분적으로 비대칭입니다. 일부 메시지 유형은 장 비용으로 만 정의되고 다른 메시지 유형은 호스트 용으로 만 정의되지만 많은 메시지가 양쪽에서 유사한 용도로 사용됩니다.

연결 공유 방법은 새 배포에 권장되지 않습니다. 연결이 장기간 유지되고 장비 또는 호스트가 재부팅 된 경우에만 중단되는 것이 일반적인 관행입니다. SECS 연결은 가볍고 네트워크 대역폭을 많이 사용하지 않습니다. 간단한 데스크톱 컴퓨터에서 여러 SECS 연결을 실행할 수 있습니다.